系统参数:
磁极宽度:2mm.最大测量长度:16.3m。
系统精度:±20μm/m。
重复精度:<2μm,在0.2mm的安装间隙。
分辨率:0.1(数据位28bit);0.5;1;2;5μm(数据位26bit)。
最大速度:5m/s。